很多人都不太清楚半導(dǎo)體設(shè)備配件、模組的分類,每個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備配件分類國產(chǎn)化的情況和難度的排序,下面就讓小編來給大家介紹一下。
半導(dǎo)體設(shè)備配件分類:
模組件:分為EFEM(傳送模塊)、傳送腔體、反應(yīng)腔體,還有部署設(shè)備(氣柜、電柜)、清洗組件、冷卻組件(CM)。
零部件:
1)金屬件:一般包括鋁錠(純鋁,用作腔體)、不銹鋼(用作骨架)、鋁合金為原料制作的產(chǎn)品,目前國產(chǎn)化率較多。
2)非金屬件:陶瓷件、石英件、石墨。
3)氣柜:主要用世偉洛克的產(chǎn)品;其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產(chǎn)品。氣柜產(chǎn)品有的是廠家自己制作的,有的是委托下游廠商制作的,例如富士金、VAT、UCT。
4)儀表類:主要是流量計(jì),目前主要用SMC和日本津市的多一些。
5)射頻電源:主要用的MKS產(chǎn)品。
6)閥門:主要用的VAT和SMC,VAT的產(chǎn)品是用的較多的,國內(nèi)也是用這兩家多一些。但是應(yīng)材的產(chǎn)品是自己定制的,不采用現(xiàn)有的模塊。
7)泵:常用的就是德國普旭和愛德華,愛德華用的是較多的。
8)管路連接:與氣柜連接的管路主要是四家的產(chǎn)品,MKS、VAT、UCT、富士金。
國產(chǎn)化進(jìn)度:目前不論是國內(nèi)還是國外設(shè)備廠商都是用的上面這些廠商的產(chǎn)品,很少用國內(nèi)沒有認(rèn)證的零部件產(chǎn)品。除了金屬加工件這種常見的產(chǎn)品外,其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的,都是用的國外零件。
半導(dǎo)體設(shè)備配件加工的難易程度:
1)非金屬類產(chǎn)品加工是難度大的,交期可能8~10個(gè)月。例如石英件、陶瓷件的加工等,可能都是以國外為主。國內(nèi)的大和熱磁,目前是國內(nèi)用的最多的。
2)其次是配置類,基本上都是被國外所壟斷,包括精度高一點(diǎn)的各種流量計(jì),這些東西是被國外壟斷的,交期也非常長,有時(shí)還涉及到一些政治因素。
3)第三是氣柜模組部分。
4)最后是金屬加工的部分。
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