注入機(jī)離子源燈絲也就是用于離子注入機(jī)的鎢絲。

離子注入機(jī)是VLSI制造工藝的關(guān)鍵設(shè)備，其運行情況直接影響到IC工藝線的效率。離子注入機(jī)的故障率較高，且大部分集中在離子源系統(tǒng)。離子源弧室內(nèi)燈絲絕緣子在饋入工藝氣體電離后的等離子體、聚合物及濺射產(chǎn)物等環(huán)境中，其表面容易沉積一層電離產(chǎn)物和濺射金屬粒子混合覆蓋物，若其結(jié)構(gòu)不合理，在較短的時間內(nèi)，就會降低陽極電極間的絕緣性，乃至短路。拆修后，注入機(jī)離子源燈絲基本上報廢，使用率低，致使整臺設(shè)備常常處于維修狀態(tài)。所以，離子源的絕緣對注入機(jī)相當(dāng)重要。

離子源作為注入機(jī)的束流源，其工作的穩(wěn)定性在很大程度上決定著引出離子束流的質(zhì)量。通過合理設(shè)計離子源內(nèi)絕緣子的結(jié)構(gòu)，提高了防濺射粒子沉積物沾污的能力。陽極電源和注入機(jī)離子源燈絲電源的工作效率隨工藝時間的增加而降低的情況得到了改善。加強(qiáng)了離子源的電離穩(wěn)定性，系統(tǒng)的重復(fù)性較好，維修次數(shù)也明顯減少。

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