離子注入決定芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)中器件的基礎(chǔ)性能。離子注入屬于物理過(guò)程，依靠調(diào)節(jié)劑量、射程、注入角度等三大重要參數(shù)，準(zhǔn)確控制摻雜并實(shí)現(xiàn)數(shù)量與質(zhì)量的可控，通過(guò)入射離子與靶材原子的電子阻礙和核阻礙等能量損耗機(jī)制達(dá)成靶材內(nèi)的駐留。

離子注入設(shè)備包含5個(gè)子系統(tǒng)和6大核心零部件。離子注入機(jī)的5大子系統(tǒng)分別為：氣體系統(tǒng)、電機(jī)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和射線系統(tǒng)，其中射線系統(tǒng)為核心系統(tǒng)。離子注入機(jī)的6大核心零部件主要包括離子源、吸極、離子分析器、加速管、掃描系統(tǒng)、工藝腔等部件。

注入機(jī)離子源配件做為注入機(jī)主要的配件，由于國(guó)內(nèi)供應(yīng)商的產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊，價(jià)格不統(tǒng)一，售后服務(wù)不好等原因，選擇一家的注入機(jī)離子源配件生產(chǎn)廠家，尤為重要，丹東正芯微電子科技有限公司是一家生產(chǎn)、加工各種注入機(jī)離子源配件的高新民營(yíng)企業(yè)。主營(yíng)注入機(jī)、濺射臺(tái)、蒸發(fā)臺(tái)等半導(dǎo)體設(shè)備核心配件及相關(guān)系列配件。

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