隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,半導(dǎo)體設(shè)備作為支撐產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán),其配件的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程備受關(guān)注。國(guó)產(chǎn)化不僅可以提高半導(dǎo)體設(shè)備的自主可控性,還有助于降低生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。近年來(lái),我國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備配件國(guó)產(chǎn)化方面取得了一定進(jìn)展。