半導(dǎo)體設(shè)備配件主要零部件的國產(chǎn)化程度取決于不同公司和產(chǎn)品的情況，一般來說，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備配件的主要零部件包括電子元器件、機(jī)械零部件、光學(xué)元件等。

在電子元器件方面，國內(nèi)一些公司已經(jīng)能夠生產(chǎn)一些優(yōu)良的電子元器件，如功率器件、傳感器等，但在一些特殊的優(yōu)良電子元器件方面，還是需要依賴進(jìn)口。機(jī)械零部件方面，國內(nèi)的機(jī)械制造水平較高，能夠生產(chǎn)各種精密的機(jī)械零部件，如軸承、齒輪等。而在光學(xué)元件方面，國內(nèi)的光學(xué)制造技術(shù)也在不斷提升，能夠生產(chǎn)一些高質(zhì)量的光學(xué)元件。

總的來說，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備配件主要零部件的國產(chǎn)化程度正在不斷提高，但在一些優(yōu)良、特殊的零部件方面還是需要依賴進(jìn)口。隨著國內(nèi)技術(shù)的不斷進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，相信國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備配件的國產(chǎn)化程度會越來越高。