蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋系統(tǒng)是半導(dǎo)體元件硅片生產(chǎn)的重要設(shè)備,主要有瓷器和玻璃兩種分類,利用電子束加熱坩堝中的金屬顆粒,使其蒸發(fā)撞擊到硅片表面。
造成蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋表面容易結(jié)塊一般是由于以下幾點(diǎn)造成的。
1、坩堝表面沒有被清潔干凈,有殘留的油脂,污垢等;
2、蒸發(fā)鍍膜溫度過高,使得油脂在表面結(jié)塊;
3、蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度過高,使得油脂在表面結(jié)塊。
大家知道為什么蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋表面容易結(jié)塊的問題原因后,給大家提供一種有效的解決辦法,
1、將坩堝表面清潔干凈,去掉殘留的油脂、污垢等;
2、將蒸發(fā)鍍膜溫度降低,使得油脂不會(huì)在表面結(jié)塊;
3、將蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度降低,使得油脂不會(huì)在表面結(jié)塊。
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