注入機(jī)離子源燈絲燒斷的原因可能有以下幾點(diǎn):
電流過載:通過燈絲的電流超過其承受能力。
頻繁啟停:頻繁啟動(dòng)和停止離子源,使燈絲受到較大的熱沖擊。
真空度問題:真空環(huán)境不良,影響燈絲散熱。
燈絲質(zhì)量問題:燈絲本身存在缺陷或質(zhì)量不佳。
注入機(jī)離子源燈絲燒斷后,應(yīng)立即停機(jī)檢查,確定具體情況。然后選用合適的新注入機(jī)離子源燈絲進(jìn)行更換,注意新燈絲的規(guī)格和性能要與原燈絲匹配。更換完畢后,還需進(jìn)行調(diào)試和測(cè)試,以確保離子注入機(jī)恢復(fù)正常工作,保障離子源的性能。
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